SPS旋涂儀POLOS SPIN150x 2024新上市

POLOS 旋涂機

我們的POLOS®單晶圓旋涂布機有NPP或PTFE兩種材質(zhì)。這些高質(zhì)量的旋涂機專為MEMS、半導(dǎo)體、

生命科學(xué)、光伏、微流控等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。適用于所有典型的旋轉(zhuǎn)工藝：

清潔、漂洗/干燥、涂層、顯影、玻璃滑動和蝕刻。

POLOS® SPIN150x 是一種多功能、高質(zhì)量的基底旋涂機，由 NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計。

臺式型號可手動或自動（可選）分配化學(xué)品。

腔體規(guī)格

外殼材質(zhì) 天然聚丙烯（NPP）

最大底物直徑 最大可用 6" (150 mm) 晶圓

最大可用 4" x 4" (100 mm) 底物

適用范圍

• 涂層

• 清洗沖洗/烘干

• 顯影

• 刻蝕

• PDMI

• 其他程序

硬件規(guī)格：

•液體過濾疏水閥

• 外殼和排水管設(shè)計，可切換桌面和Indeck模式用于注射器或噴嘴的中心注射支架

• 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全

• 大尺寸觸摸顯示屏（可拆卸）

• USB 端口，用于在 USB 驅(qū)動器上存儲配方和進行軟件更新

驅(qū)動裝置規(guī)格：

• 間接無刷驅(qū)動裝置

• 轉(zhuǎn)速高達(dá) 12.000 RPM（取決于底物/卡盤）

• 高加速度、高精度

• 加速/減速 1-30.000 RPM

• 順時針、逆時針旋轉(zhuǎn)和漩渦選項

SPS旋涂儀POLOS SPIN150x 2024新上市